名称 正硅酸乙酯

别称 硅酸四乙酯 | 四乙氧基硅烷

英文名 Tetraethyl orthosilicate

简称 TEOS

CAS号 78-10-4

分子式 C8H20O4Si

分子量 208.327

含量≥99%

二氧化硅 28% 32% 40%

低馏份≤1% 

酸度≤0.01%

粘度 4-7cps

密度 0.931 g/cm3

外观 无色液体，有酒精的气味

折射率 1.382

用途

用于精密铸造，作为砂型的粘结剂；用正硅酸乙酯蒸气处理的金属表面可防腐防水。对金属表面渗硅，处理光学玻璃可提高透光度；完全水解后产生的极细氧化硅粉可用于荧光粉。

还可用于耐热、耐化学品的涂料。

（电子级）用于加工成电子级四乙氧基硅烷用于晶圆的制造。用于二氧化硅薄膜，是半导体、分立器件、微机电系统制造所需的电子化学品。